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轮廓扫描 截面测量 表面形貌扫描 粗糙度测量 直线度测量 平面度测量 膜厚测量 坐标测量 亚微米测量 纳米测量
文章来源:admin. 时间:2017-06-16 12-05-23

光谱共焦位移传感器安装在精密扫描平台上,即可进行非接触样品表面扫描。配上各行业测量软件,可以进行各种测量分析。

光谱共焦位移传感器分辨率可达亚微米或纳米级,理论上可以替换所有精密位移测量传感器,以提高测量速度和测量精度,提高仪器适用范围和档次。

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