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光谱共焦测量的方法

发布时间:2021-08-27 浏览:12次 责任编辑:立仪科技

    随着共焦光谱技术的发展,我们可以看到测量几乎所有类型的材料,平面度、弧面度、高度差、凹槽等,应用于2.5D/3D曲面玻璃等手机3C行业。


    光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。光谱共焦测量技术通过分析不同波长的光在特定表面的聚焦位置以进行高精度的尺寸测量和微观形貌分析。根据这一测量原理,特定波长的光可能聚焦在样品正面,而对于透明材质样品,两条不同波长的光在样品的正反面聚焦。这正是光谱共焦提供的两种测量模式,前者为位移测量模式,后者为厚度测量模式。今天我们与立仪科技公司一起来看看光谱共焦测量的方法:



    一、位移测量模式


    位移测量模式输出Z方向的高度值,导入XY的位移量后可直接输出点云坐标。该模式与三坐标、结构光和激光三角等测量方法一致,不同之处在于光谱共焦支持反光表面的测量,且拥有亚微米级别的测量精度。


    位移测量模式适用于大多数精密尺寸测量场景,提供点、线、面多种测量采样选择。点测量适用于测量物体振动和液体高度,输出不同时序的Z方向值来辅助分析。线测量可连续记录运动样品表面的Z方向值,供断差检测和2D尺寸分析用途。面测量提供样品表面完整的三维形貌数据,可进行综合性的包括粗糙度等项目在内的分析。


    二、厚度测量模式


    在测量玻璃、镜片等透明样品时,不同波长的两束光在样片正反表面聚焦,在导入样品折射系数参数之后,可计算出该样品的厚度值。相比于游标卡尺等传统的接触式测量工具,光谱共焦测量拥有所有非接触式光学测量的优势,同时还具有单侧测量即可获取样品厚度值的特性。


    折射系数直接影响厚度测量的数据精度,因此在测量开始时应先确认样品的折射率。折射率可参考同类材料的数值,但如需获得更高精度的厚度测量结果,需借助折光仪测得样品的折射率。


    模式切换


    光谱共焦的两种测量模式可在软件界面中自由切换,无需重新启动设备或系统。因此,无论是样品表面尺寸测量,还是透明材质厚度测量,亦或是同时获取透明样品的外观尺寸和厚度信息,光谱共焦测量技术都能从容应对。