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一篇文章让你清楚了解白光干涉仪

发布时间:2022-04-28 浏览:53次 责任编辑:立仪科技

光谱共焦传感器,白光干涉仪,激光位移传感器,膜厚仪是目前3D领域中,精度最高的测量仪器之一,前面立仪科技小编已经为大家介绍了光谱共焦位移传感器,激光位移传感器,接下来本文就带大家一起来了解了解白光干涉仪

 

白光干涉仪工作原理

白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。

它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

白光干涉仪的应用领域

一、超精细粗糙度测量

 


玻璃镜片 0.05nm 粗糙度测量


二、台阶高度

 

掩模版台阶高度测量

 

 

三、形貌观察&测量

 

膜形貌测量

 

四、不同条件下实验形貌比对&测量

 

 化工材料不同浓度液滴后形貌分析

 

听完立仪科技小编的介绍,相信大家对白光干涉仪的原理以及应用领域有了个大概的了解,立仪科技一家专业生产光谱共焦位移传感器,激光位移传感器,膜厚仪,白光干涉仪的公司,从2014年成立至今,励志成为国产高精度测量的技术引领者。