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光谱共焦位移传感器的原理是什么?能应用那些领域?

发布时间:2022-07-02 浏览:42次 责任编辑:立仪科技

光谱共焦位移传感器作为一种新兴的高精度测量设备具有非接触式、高精度、高稳定性、大角度、高采样频率等测量特性。那么作为一家新型的测量技术,光谱共焦的原理是什么呢:

一束白光(或多波长混合光)经过一个小孔,经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上,色散地形成一条彩虹状分布带,照射到样品上,部分反射光反射回去。(如下图左所示)照射在光轴与物体表面交点的光经过分光部件,通过小孔照射到光谱分析仪。根据波长计算就可以获得镜头到被测物距离(下图右所示)。


光谱共焦位移传感器的原理是什么?能应用那些领域?


作为新型的非接触式高精度测量设备,精度可以达到亚微米级别,比如可以用来测量透明物体的厚度,以及轮廓、位移、高度、2d3d曲面弧度扫描、不透明物体的厚度测量、振动测量、深孔、液位测量、微槽、平面度测量等等。

光谱共焦位移传感器的原理是什么?能应用那些领域?

在手机行业,比如曲面盖板玻璃检测、手机主板检测、按键尺寸或高度检测、芯片检测、摄像头模组检测、手机摄像头模组检测等等。半导体行业,芯片引脚平整度检测,晶圆深度和厚度检测。玻璃测量,如厚度、弧度等一些要求精度高的产品。

听完立仪小编的分享,相信大家对光谱共焦有了个大概的了解,更多关于光谱共焦咨询欢迎关注本公司。