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光谱共焦的两种测量模式

发布时间:2020-03-10 浏览:32次 责任编辑:立仪科技

  光谱共焦测量技术通过分析不同波长光在特定表面的焦点位置,进行高精度尺寸测量和微观形态分析。 根据此测量原理,特定波长的光可能聚焦于样本表面,而对于透明材质的样本,两种不同波长的光将聚焦于样本的表里。 这是光谱共焦所提供的两种测量模式,前者是位移测量模式,后者是厚度测量模式。下面深圳立仪科技为大家简单介绍:


  1.位移测量模式

  位移测量模式输出z方向的高度值,读取XY的位移量,直接输出点云坐标。 该模式与三坐标、结构光、激光三角等测量方法相一致,不同之处在于光谱共焦支持反射面的测量,具有亚微米级的测量精度。



  位移量测模式适用于大多数精确尺寸量测场景,您可以选取点、线和面的量测样本。 点测量适用于测量物体的振动和液体的高度,输出不同时刻的z方向的值来辅助分析。 线性测量可连续记录运动样本表面的z方向值,用于断差检测和2D尺寸分析。 面测量提供样品表面的完整三维形态数据,可以进行综合粗糙度等项目的分析。


  2.厚度测量模式

  当测量透明样本(如玻璃和透镜)时,两种不同波长的光将聚焦于样本的正面和背面,引入样本的折射率参数,然后可以计算样本的厚度值。 与游标卡尺等传统接触式测量工具相比,光谱共焦测量具有所有非接触式光学测量的优点,同时还具有单侧测量可获取样品厚度值的特性。


  因为折射率直接影响厚度测量的数据精度,开始测量时要确认样品的折射率。 折射率可以参考同种材料的数值,但为了得到更高精度的厚度测量结果,需要用折射率计测量样品的折射率。


  现在大家知道光谱共焦的两种测量模式具体是哪两种了吧!光谱共焦点的两种测量模式可以通过软件界面自由切换,无需重新启动设备或系统。 因此,无论样品的表面尺寸测量、透明材质的厚度测量,还是同时取得透明样品的外观尺寸和厚度信息,分光共焦点测量技术都能够留有馀地进行对应。