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光谱共焦位移传感器的工作部分有哪些?

发布时间:2022-04-22 浏览:34次 责任编辑:立仪科技

  随着工业的快速发展,对精密测量技术的要求越来越高。位移测量技术作为几何量精密测量的基础,不仅需要超高的测量精度,还需要对环境和材料有广泛的适应性,逐渐趋向于实时和无损检测。与传统的接触测量方法相比,可视化光谱共焦位移传感器具有速度快、精度高、适应性强等明显优势。



  光谱共焦位移传感器常用于测透明物体的厚度,如测薄膜、玻璃、透明胶、透明液体。且可测多层厚度用于表面粗糙度分析、表面轮廓分析、划痕测量、孔内径测量应用非常广泛,且精度高,不受表面材料的影响。今天我们一起来看看光谱共焦位移传感器的工作部分有哪些?


  1.粗糙度测量:


  可测量小几个纳米的粗糙度。获取粗糙度文件速度比普通的探针式快很多,而且不会对表面造成划痕的风险。


  2.轮廓&微观形貌:


  传感器的3D扫描的接口,能够满足所有复杂对象的2D和3D测量。精度可达亚微米级。


  3.厚度测量:


  非常先进的光谱共焦成像原理,通过使用一个单一的传感器就能测量透明材料的厚度,而且具有极高的精度。可以从样品的一面直接测量。


  4.水平面控制:


  由于其非接触技术,我们的传感器可以检测和测量液体的水平面。


  5.振动:


  由于非常高的测量频率和纳米分辨率,我么的传感器能够测量振动对象。他们的非接触式设计避免了在测试时的干扰,并能测量和分析难以访问的区域。


  6.生产线检测:


  光学传感器能够用应用于生产线系统控制,是由于其非常高的测量速率和先进的接口与制造能力。


  随着光谱共焦传感技术的发展,必将在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量计量测试等等领域得到更多的应用。