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白光干涉仪

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点白光干涉仪

纳米级精度，最高精度达0.1nm，采样频率最高可达到5KHz，可测多层薄膜，支持膜层层数可达100层，可获得每一层薄膜材料的光学参数（厚度、折射率、消光系数）；透明、高反射材质测量，光刻胶厚度测量，测量厚度范围可达0.01-300μm。