深圳立仪科技有限公司

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膜厚仪

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HM5-160全自动检测系统

1、高速度、高精度测量系统。 2、最大160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5µm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。
HM-S100半自动检测系统

1、非接触光学测量系统。 2、应对各种材质，重复测量精度≦0.5µm。 3、高速采样，最快周期20µs。 4、强大的CPK统计功能。 5、吸附系统及高精度位移系统。 6、测量轮廓、断差、槽深、高度等。