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线光谱共焦位移传感器

原理:将原来点光谱共焦的点光源扩展为线光源。并通过高速的数据处理,在反馈的线光谱信号上采样多个点信号组成数据序列,用点云处理的方式可以得到被测物的高精度扫描轮廓并输每个位置的高精度高度数据。特点1:立仪科技开发的线光谱共焦传感器与市面上基于三角法的线光谱原理不同,三角法原理线光谱对狭缝,深孔等特征无法测量,而立仪科技开发的线光谱特性则与点光谱相同,垂直向下测量,狭缝,深孔等特征依然可测特点2:

产品描述

原理:将原来点光谱共焦的点光源扩展为线光源。并通过高速的数据处理,在反馈的线光谱信号上采样多个点信号组成数据序列,用点云处理的方式可以得到被测物的高精度扫描轮廓并输每个位置的高精度高度数据。

 

特点1:立仪科技开发的线光谱共焦传感器与市面上基于三角法的线光谱原理不同,三角法原理线光谱对狭缝,深孔等特征无法测量,而立仪科技开发的线光谱特性则与点光谱相同,垂直向下测量,狭缝,深孔等特征依然可测

 

特点2:立仪科技开发的线光谱共焦传感器完全由自主研发,掌握核心专利技术,部件为国产,可实现批量量产化。

 

特点3:量产后扫描频率将达到4k以上,完全满足高速扫描测量的需求,扫描线长度最长将达约15~20mm,可满足大部分中小元件高精密扫描测量的需求


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