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| 型号 | METAFILN-W025 | METAFILN-W036 | METAFILN-W045 | METAFILN-W081 |
|---|---|---|---|---|
| 波长范围 | 250–800nm | 365–1000nm | 450–750nm | 810–910nm |
| 厚度范围 | 0.01–50μm | 0.02–70μm | 0.05–150μm | 0.05–300μm |
| 厚度分辨率 | 0.1nm | 0.1nm | 0.1nm | 10nm |
| 重复性偏差* | 薄膜模式偏差：0.1nm 厚膜模式偏差：0.015μm | |||
| 入射角 | 正入射 | |||
| 膜层层数 | 1–100层 | |||
| 样品材料 | 透明或半透明 | |||
| 测量模式 | 反射 / 对射 | |||
| 光斑尺寸 | 200μm × 20μm | |||
| 是否在线 | 支持在线 | |||
| 扫描选择 | XY可选 | |||
| 采样频率 | 最高5KHz | |||
| 电源模块 | 12V 3A，P1J标准插头（2.1φ × 5.5φ × 11mm） | |||
| 加密狗 | 软件加密狗（USB-KEY） | |||
| USB信号线 | Type-B（膜厚仪端）– Type-A（PC端） | |||
| 相机 / 同轴镜头 | 可定制 | |||
| 光纤接头 | SMA905 | |||
| * 重复性偏差是在实验模拟场景下，对同一标准样品重复测量30次后得到的标准偏差波动值。 | ||||
