工作距离：传感器到被测物的参考安装距离。

量程：传感器可测量的位移或高度变化范围。

分辨率：传感器可分辨的最小变化量。

重复精度：在相同条件下多次测量同一位置时结果的一致性。

测量精度：测量结果与真实值之间的接近程度。

光斑尺寸：越小，对细微结构的分辨能力越强；光斑较大则更适合表面较平整或粗糙度较高的目标。

测量角度：越大，对高倾角表面的测量能力越强。

探头直径：越小，越匹配细微结构的测量空间。

90°出光：常规款测量探头为底面0°出光，90°出光的探头型号可以更深入测量孔径内部。