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| 系列 | 型号 | 工作距离 | 量程(R) | 线性精度 | 分辨率 | 光点直径(S) | 最小可测厚度 | 最大角度(A) | 尺寸 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| D55A18 | D55A18R20S30 | 70mm | ±10mm | ±3μm | 43nm | 30μm | 670μm | ±18° 镜面 | D:55mm L:111mm | 333.0±7g |
| D55A18R10S30 | 75mm | ±5mm | ±1μm | 21.5nm | 340μm | |||||
| D55A18R5S30 | 77.5mm | ±2.5mm | ±1.25μm | 10.75nm | 170μm |
