光通信微小结构高度精密测量

随着光通信器件小型化发展，微小结构的高度精度要求不断提升，传统测量手段难以满足需求。立仪采用高分辨率非接触测量方案，实现对微小结构高度的稳定测量，满足高精度应用场景。