微小光学结构高度精密测量,立仪科技应用案例封面图

微小光学结构高度精密测量

微小光学结构尺寸小、精度要求高,常规测量手段难以满足。立仪采用高分辨率非接触测量方案,实现对微小光学结构高度的稳定测量。