涂布起始 / 结束区域膜厚检测,立仪科技应用案例封面图

涂布起始 / 结束区域膜厚检测

涂布起始与结束区域易出现膜厚不稳定。立仪采用高精度膜厚测量技术,对局部区域进行高分辨率膜厚测量,辅助工艺优化。