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点光谱共焦位移传感器可对透明、高反射和复杂表面进行非接触式高精度的位移和厚度测量，是工业在线应用的理想选择。
立仪科技提供四大类控制器、八大类测量探头系列，另有光纤和配件可选。
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3D线光谱共焦位移传感器能够实现快速三维轮廓测量，无惧各种材质、形状，非常适用于平面度、粗糙度、段差和表面轮廓检测，广泛应用于工业制造、精密测量及科学研究等领域。
LC系列最大支持±22°测量角度，Z轴线性精度达±1.25um。
点白光干涉仪可进行纳米级精度的厚度测量，重复精度极高，尤其适用于薄膜和多层结构的测量。
METAFILN-W系列最高精度达±0.1nm，支持测量膜层层数达100层。
点激光位移传感器提供高速、非接触式的距离和高度测量，广泛适用于通用工业自动化和精密测量领域。
立仪科技提供常规款和高精度款两种系列选择。
3D线激光位移传感器提供高速三维轮廓和表面形貌测量，广泛应用于形状检测和表面轮廓分析。
LS系列提供不同扫描速度、视野画幅的型号选择。
对比维度 | 光谱共焦技术 | 白光干涉技术 | 激光三角技术 |
非接触测量 | √ | √ | √ |
典型分辨率 | 亚微米-微米级 | 纳米级 | 亚微米-微米级 |
重复精度 | 高 | 极高 | 中-高 |
测量范围 | 小-中 | 小 | 中-大 |
测量速度 | 高 | 中 | 极高 |
透明材料 | √ | √ | × |
高反表面 | √ | √ | √ |
吸光表面 | √ | × | × |
多层结构 | 5层 | 100层 | × |
弯曲表面 | √ | √ | × |
系统复杂度 | 中 | 较高 | 低 |
典型成本 | 中 | 较高 | 低 |
